標(biāo)簽：射頻集成 RFIC

文章主要介紹了當(dāng)前射頻集成電路研究中的半導(dǎo)體技術(shù)和CAD技術(shù)，并比較和討論了硅器件和砷化鎵器件、射頻集成電路CAD和傳統(tǒng)電路CAD的各自特點(diǎn)。

近年來(lái)，無(wú)線通信市場(chǎng)的蓬勃發(fā)展，特別是移動(dòng)電話、無(wú)線因特網(wǎng)接入業(yè)務(wù)的興起使人們對(duì)無(wú)線通信技術(shù)提出了更高的要求。體積小、重量輕、低功耗和低成本是無(wú)線通信終端發(fā)展的方向，射頻集成電路技術(shù)(RFIC)在其中扮演著關(guān)鍵角色。RFIC的出現(xiàn)和發(fā)展對(duì)半導(dǎo)體器件、射頻電路分析方法，乃至接收機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)都提出了新的要求。

半導(dǎo)體器件技術(shù)

在RF領(lǐng)域中, 性能、工藝的要求要比數(shù)字集成電路本身復(fù)雜得多。其中，功耗、速度、成品率是最主要的參數(shù)。同時(shí)，RF IC還要考慮到噪聲(寬帶和窄帶)、線性度、增益和功效。這樣, 應(yīng)用于RF IC中的優(yōu)化器件一直在不斷完善和發(fā)展。不同的RF功能部分將在不同的半導(dǎo)體器件工藝上實(shí)現(xiàn)。目前，RFIC中使用的半導(dǎo)體工藝主要有Si、SiGe、 GaAs和InP。

● 硅器件：硅集成電路計(jì)有硅雙極晶體管(Si-Bipolar Transistor)、硅-互補(bǔ)式金氧半導(dǎo)體(Si-CMOS)、硅雙極互補(bǔ)式金氧半導(dǎo)體(Bi-CMOS)或硅鍺異質(zhì)接面雙極晶體管(SiGe HBT)。

目前通信的頻率大抵在2 GHz以下，除功率放大器外，硅集成電路在射頻/中頻模塊較占優(yōu)勢(shì)，硅工藝因具有大量的產(chǎn)能，可以由射頻/中頻/基頻組成單芯片混合模式集成電路 (single chip mixed mode IC)，并且可以單電源操作，在價(jià)格、積體化程度上遠(yuǎn)超過(guò)砷化鎵器件，砷化鎵與硅集成電路，因?yàn)椴牧咸匦缘牟煌?em>設(shè)計(jì)的方法也大不相同，硅材料由于沒(méi)有半絕緣基板(Semi-insulation substrate)，等于在一個(gè)高損耗的基板上做電路設(shè)計(jì)，再加上器件本身的增益較低，若要達(dá)到與砷化鎵相當(dāng)?shù)母哳l電性，硅RFIC全系于晶體管微小化 (如次微米R(shí)F CMOS)或材料結(jié)構(gòu)的改善(如SiGe異質(zhì)接面晶體管)，來(lái)提高器件的特征頻率fT。也必須借助溝槽隔離(trench isolation)等工藝，提高電路間的隔離度與Q值，工藝繁復(fù)、光罩?jǐn)?shù)眾多，不良率與成本也大幅提高，高頻模型也因?yàn)殡s散效應(yīng)明顯，不易掌握。目前硅工藝已可勝任超過(guò)5 GHz以上的RFIC，但對(duì)具低噪聲放大器、高功率放大器與開(kāi)關(guān)器等射頻前端仍有不足，故硅工藝的器件，將被定位于中頻模塊或低層(low tier)的射頻模塊。

需要特別指出的是，在無(wú)線收發(fā)器中，數(shù)字信號(hào)處理部分使用標(biāo)準(zhǔn)Si-CMOS工藝，通常占到芯片面積的75%以上,集成度及功耗等指標(biāo)的要求使得他不可能用CMOS以外的其他工藝實(shí)現(xiàn),所以只有實(shí)現(xiàn)CMOS集成射頻前端,才能實(shí)現(xiàn)單片集成的收發(fā)器并最終實(shí)現(xiàn)單片集成的移動(dòng)通信產(chǎn)品。目前隨著CMOS 工藝的發(fā)展,它的單位增益截止頻率已經(jīng)接近GaAs水平,同時(shí)出現(xiàn)了一些采用CMOS工藝實(shí)現(xiàn)的射頻前端的單元電路及收發(fā)器。這也使得采用CMOS工藝實(shí)現(xiàn)移動(dòng)通信產(chǎn)品的單芯片集成成為可能。此外，CMOS工藝與其它工藝相比，集成度更高，成本低，功耗低，使得對(duì)它成為RFIC發(fā)展的主流方向。

● 砷化鎵器件：砷化鎵器件在高頻、高功率、高效率、低噪聲指數(shù)的電氣特性均遠(yuǎn)超過(guò)硅器件，空乏型砷化鎵場(chǎng)效晶體管(MESFET)或高電子遷移率晶體管 (HEMT/PHEMT)，在3 V電壓操作下可以有80 %的功率增加效率(PAE: power added efficiency)，非常適用于高層(high tier)的無(wú)線通信中長(zhǎng)距離、長(zhǎng)通信時(shí)間的需求，然而二者皆需要負(fù)電源，將增加產(chǎn)品使用的成本，HEMT器件繁復(fù)的長(zhǎng)晶與閘級(jí)寬度的控制，也影響工藝之一致性及易產(chǎn)性。增進(jìn)型(enhancement mode) E-mode MESFET/ HEMT，因?yàn)闊o(wú)需負(fù)電源，同時(shí)可維持其功率放大器之優(yōu)良特性，惟其輸出功率將被限制。異質(zhì)雙極晶體管(HBT)是另外一無(wú)需負(fù)電源的砷化鎵器件，其功率密度(power density)、電流推動(dòng)能力(current drive capability)與線性度(linearity)均超過(guò)FET，適合設(shè)計(jì)高功率、高效率、高線性度的微波放大器，HBT為最佳器件的選擇。而HBT 器件在相位噪聲，高gm、高功率密度、崩潰電壓與線性度上占優(yōu)勢(shì)，另外它可以單電源操作，因而簡(jiǎn)化電路設(shè)計(jì)及次系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的難度，十分適合于射頻及中頻收發(fā)模塊的研制，特別是微波信號(hào)源與高線性放大器等電路。

電路CAD技術(shù)

對(duì)集成電路設(shè)計(jì)來(lái)說(shuō)，設(shè)計(jì)方法和高水平的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具是成功的關(guān)鍵。對(duì)于通常的VLSI，有包括從綜合、模擬、版圖設(shè)計(jì)、驗(yàn)證、測(cè)試生成等在內(nèi)的一系列工具來(lái)支持整個(gè)設(shè)計(jì)過(guò)程。但對(duì)RFIC，目前尚不具備一整套完善的CAD工具，主要的前端設(shè)計(jì)工具是電路級(jí)的模擬或仿真。

SPICE仿真的不足e#●SPICE仿真的不足

通常的電路模擬使用的是以SPICE為代表的模擬技術(shù)，它支持多種仿真。但由于RFIC的特點(diǎn)，用這類(lèi)電路模擬技術(shù)存在很多困難。

首先，RFIC的設(shè)計(jì)指標(biāo)大多是電路處于穩(wěn)態(tài)時(shí)的指標(biāo)，如功率增益、交調(diào)與畸變等，用SPICE的時(shí)域模擬必須經(jīng)過(guò)一個(gè)瞬態(tài)過(guò)程才能到達(dá)穩(wěn)態(tài)，對(duì)有較長(zhǎng)瞬態(tài)過(guò)程的電路，要耗費(fèi)大量的計(jì)算。

其次RFIC通常存在兩個(gè)或多個(gè)頻率或變化速度相差懸殊的信號(hào)。典型的情況是混頻器，載頻與信號(hào)頻率往往相差幾個(gè)數(shù)量級(jí)。其它如PLL的捕捉過(guò)程，振蕩器的起振過(guò)程等，用SPICE來(lái)模擬這些情況效率都很低，因模擬所需時(shí)間取決于最慢分量，而時(shí)間步長(zhǎng)取決于最快分量。

另外RFIC中存在互連、封裝等分布的寄生元件，SPICE也無(wú)法處理。這些元件準(zhǔn)確的特性要由電磁場(chǎng)分析給出，一般適宜在頻域中描述，不能直接用于時(shí)域中的分析。

最后，噪聲是決定IC系統(tǒng)性能，如信噪比，誤比特率的一個(gè)重要因素，但SPICE只能對(duì)線性放大器、且噪聲源為平穩(wěn)隨機(jī)過(guò)程的情形作噪聲分析，而對(duì) RFIC系統(tǒng)中的非線性電路，如混頻器、振蕩器，因噪聲受到大信號(hào)的調(diào)制，統(tǒng)計(jì)特性不再是平穩(wěn)的，且混頻噪聲與振蕩器的相位噪聲特性不同，不能用 SPICE中線性電路的噪聲分析方法。

●RF電路仿真技術(shù)

由于上述原因，以SPICE為代表的傳統(tǒng)電路模擬無(wú)法滿足RFIC分析的需要。為此，在過(guò)去十幾年中發(fā)展了專(zhuān)門(mén)針對(duì)射頻與微波通信電路的模擬、仿真技術(shù)。

時(shí)域方法：時(shí)域仿真一般是在假設(shè)電路的穩(wěn)態(tài)相應(yīng)是周期的前提下求解電路時(shí)域微分方程組，即v(0)=v(T),其中，v是節(jié)點(diǎn)電壓向量，T是周期，v(0)是節(jié)點(diǎn)電壓零時(shí)刻的初始向量，v(T)是T時(shí)刻的節(jié)點(diǎn)電壓向量，然后找到使方程有周期解的初始狀態(tài)v(0)。對(duì)于激勵(lì)信號(hào)是周期信號(hào)的電路，周期T是已知量，但對(duì)于振蕩電路，它的周期一般是未知的，所以除了確定v(0)外，還要確定周期T。

關(guān)鍵詞： 自動(dòng)化 設(shè)計(jì) 電子 電路 RFIC